飞行时间二次离子质谱仪

1.三重聚焦飞行时间质量分析器，由三个扇形静电分析器(ESA)组成，飞行距离2m.
2.低质量时质量分辨率：m/z=29(SiH+)的m/△m≥15,000;
3.高质量时质量分辨率：m/z>200的m/△m≥17,000;
4.绝缘材料质量分辨率：PET标准样品m/z=104的m/△m≥15,000;
5.质量范围：1~12000amu以上；
6.空间分辨率：水平空间分辨率：≤50nm;
7.二次离子接收角：≥21°；
8.对于导电样品景深：≥140μm;对于绝缘样品景深：≥200μm;
9.全自动进样方式：无需借助样品传送杆
10.采用低能量脉冲聚焦电子枪和超低能量的离子束对绝缘样品表面的荷电进行双束中和，中和条件自动匹配；
11.GCIB团簇离子枪离子束能量范围：1.0keV~20keV;
12.Cs离子枪束流能量：250eV~2keV;
13.Ar离子枪束流能量200eV到3keV;
14.一次离子源Bi源具备FIB功能；
15.可在惰性气氛保护下进样。
16.一次离子源离子束流能量：15-30keV;
17.样品台移动行程：X=±50mm,Y=±50mm,Z=20mm;-15°~15°；360°连续旋转

表面剖析、深度剖析、质谱、面扫

无

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